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  • 變頻器電源,轉(zhuǎn)速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機(jī),即顯示“Po“。答:原因電壓低。

  • 分子泵無(wú)法直接將氣體壓縮到常壓,即無(wú)法直接對(duì)大氣排氣?;诜肿颖玫墓ぷ髟?,在開啟分子泵前必須配置一臺(tái)輔助前級(jí)泵。

  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達(dá)10-3mbar,但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問(wèn)題,如果沒(méi)有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染,從而導(dǎo)致分子泵提供的真空環(huán)境里會(huì)存在一定含量的碳?xì)浠衔?,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會(huì)直接影響客戶的測(cè)試結(jié)果;另外還需要定時(shí)換油,總體來(lái)說(shuō)維護(hù)成本高,能耗大。

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