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安捷倫分子泵有什么特點呢?
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  • 分子泵在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中,分子泵廣泛應(yīng)用于光刻機、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機等關(guān)鍵設(shè)備。

  • 安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達(dá)到較佳性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯誤使用。

  • 安捷倫分子泵的質(zhì)量和制造標(biāo)準(zhǔn)確保了DS旋片泵對輕質(zhì)氣體具有穩(wěn)定的高抽速,同時還具有低噪聲,返油量少以及使用壽命長的特點

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