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如何維修Pfeiffer渦輪分子泵?求解答
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  • Pfeiffer渦輪分子泵Hipace系列,采用復(fù)合軸承設(shè)計(jì),內(nèi)部主要由陶瓷球軸承,轉(zhuǎn)子軸,安全軸承和磁性軸承組成,正常運(yùn)行3-4年建議做一次標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)

  • Pfeiffer渦輪分子泵真空度正常,可以達(dá)到全速,但是噪音大:分子泵運(yùn)行超過3年,可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損,建議送到zhuan業(yè)真空泵維修中心進(jìn)行拆解檢測(cè);如果放任不管,后續(xù)會(huì)磨損轉(zhuǎn)子,對(duì)泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷

  • Pfeiffer渦輪分子泵無法達(dá)到全速,真空度抽不下去:請(qǐng)檢查前級(jí)真空是否正常,如果是分子泵組,請(qǐng)先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時(shí)間后在觀察下,無法解決問題建議立即送修檢測(cè)

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