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朋友們,Edwards真空分子泵維修的維修注意事項(xiàng)有哪些?
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards真空分子泵維修出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

  • 當(dāng)Edwards真空分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 打開Edwards真空分子泵維修之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

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