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敢問(wèn)大家,Edwards二手分子泵維修有什么注意事項(xiàng)?
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開(kāi),必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

  • 當(dāng)Edwards二手分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒(méi)有到位時(shí),請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 當(dāng)Edwards二手分子泵出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí),應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動(dòng)充滿(mǎn)空氣后更換備用分子泵。

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