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Edwards二手分子泵維修有什么注意事項?大俠們,求解
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵

  • Edwards二手分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。

  • 當(dāng)Edwards二手分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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