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維修Edwards進(jìn)口分子泵時(shí)需要注意什么?在線等
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  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí),檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí),必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。

  • 打開(kāi)Edwards進(jìn)口分子泵之前,必須先打開(kāi)冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

  • Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開(kāi),必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

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