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Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢? 還請不吝賜
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  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前,請確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號時(shí),嚴(yán)禁再次啟動分子泵進(jìn)行后處理。

  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards真空分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

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