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哪位知道Edwards真空分子泵維修的維修注意事項有哪些?
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  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。

  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

  • 當Edwards真空分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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