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維修Edwards進(jìn)口分子泵時(shí)需要注意什么?拜托了幫個(gè)忙
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  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí),檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí),必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。

  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題,Edwards進(jìn)口分子泵出口是否打開(kāi),機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒(méi)有到位時(shí),請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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