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北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
主營：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備
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真空除氣爐的構(gòu)成介紹
本系統(tǒng)主要分為機(jī)械與電控兩大部分。下面將詳述各個(gè)部分構(gòu)成。
機(jī)械部分主要由以下兩個(gè)單元構(gòu)成：真空箱室單元、真空獲得系統(tǒng)單元。
真空箱室單元由真空箱、真空測(cè)量裝置、加熱烘烤組件、管道閥門等組成。
真空箱：采用304不銹鋼材質(zhì)制造，硅片除氣裝置廠家，分為上中下三個(gè)獨(dú)立的真空箱室，硅片除氣裝置哪家好，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)除油、電拋光處理，保證了較少的藏氣，提高了真空箱室的抽空效率和極限真空。真空箱室外部有加強(qiáng)筋，保證真空箱室承壓能力。每個(gè)真空箱室門中間部位各具有一個(gè)Φ100石英觀察窗，真空箱室與真空獲得系統(tǒng)采用柔性軟管連接，方便快捷，并減少震動(dòng)。真空箱室開門為上中下三開門，硅片除氣裝置多少錢，氟膠圈型式密封，向右側(cè)側(cè)開門。
真空除氣儲(chǔ)存柜設(shè)備簡(jiǎn)介
本設(shè)備是一種可以提供真空環(huán)境的儲(chǔ)存設(shè)備，分為上中下三層箱室，均可獨(dú)立工作。具備以下主要功能：
1. 對(duì)儲(chǔ)存箱室抽真空；
2. 控制儲(chǔ)存箱室恒壓穩(wěn)定；
3. 具備加熱烘烤功能；
4. 溫度、濕度、真空度自動(dòng)檢測(cè)記錄功能；
5. 漏電保護(hù)、真空泵過載保護(hù)、電氣互鎖保護(hù)功能；
6. 具備自動(dòng)和手動(dòng)兩種操作模式；
7. PLC控制，觸摸屏操作
真空除氣儲(chǔ)存柜的加熱系統(tǒng)
1、加熱區(qū)尺寸：定制
2、加熱功率：30-80 KW（實(shí)際功率可調(diào)）
3、加熱元件：鉬片
4、隔熱組件：鉬+不銹鋼
5、溫度測(cè)量：S型熱電偶
6、控溫精度：±1℃
7、升溫速率 ：由室溫升至1000℃小于80min（空載）
8、加熱室：采用圓筒形加熱室結(jié)構(gòu)。隔熱屏采用多層鉬結(jié)構(gòu)，各層之間采用99剛玉陶瓷，發(fā)熱體為鉬片，鉬片均勻環(huán)繞在隔熱屏周圍，實(shí)現(xiàn)良好的溫度均勻性。具有使用壽命長、隔熱保溫性能好、真空放氣量較少。外框使用不銹鋼（310S）板材料，并且焊接多道加強(qiáng)筋以保證不變形。
9、加熱控制：采用PID智能控溫模塊設(shè)計(jì)，可編輯30+段升溫曲線，存貯20+組工藝配方，組合PLC等實(shí)現(xiàn)超壓、超溫、過流等自動(dòng)報(bào)警保護(hù)功能，10寸液晶觸摸屏顯示操作，天津硅片除氣裝置，具有操作方便，功能強(qiáng)大，穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。
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第5年
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