貼合式兆聲清洗頭概述
槽式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于其兆聲換能器面積較大,可以大面積輻射兆聲聲場(chǎng),從而更的進(jìn)行清洗。但缺點(diǎn)是兆聲聲場(chǎng)在水槽中分布不均勻,距離換能器越遠(yuǎn)聲強(qiáng)越弱,同時(shí)聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于可直接將兆聲能量聚焦在清洗物表面,從而可通過(guò)運(yùn)動(dòng)清洗物和噴頭實(shí)現(xiàn)清洗物表面均勻的聲場(chǎng)分布,兆聲清洗哪家好,且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量,對(duì)清洗液浪費(fèi)較大,并且噴淋式兆聲換能器面積較小,從而聲能輻射面積較小,兆聲清洗公司,清洗速度較慢。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)并摒棄了二者缺點(diǎn)的更優(yōu)化的兆聲清洗技術(shù)。它可以以相對(duì)大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面,具有非常高的傳遞效率和聲場(chǎng)均勻性,同時(shí)非常節(jié)省清洗液。
超聲波清洗的構(gòu)成
超聲波清洗機(jī)由以下幾部分組成:1)超聲波系統(tǒng):包括換能器和超聲波發(fā)生器。(1)換能器:換能器采用特種耐高溫、耐振動(dòng)、高粘度的樹脂膠輔以特殊的方法加以固定,脫落,且可耐受100℃~150℃的高溫。(2)超聲波發(fā)生器:大功率超聲波發(fā)生器可由超音頻IGBT電力電子器件為主要元件構(gòu)成,該種超聲波發(fā)生器電路,結(jié)構(gòu)完整,輔以靈敏可靠的集成控制系統(tǒng)。各種超聲波發(fā)生器可獨(dú)立工作,亦可多組并聯(lián)使用,以完成大規(guī)模清洗工程。2)加熱及溫度控制系統(tǒng)。加熱器通常采用不銹鋼管材制成,可耐酸堿。加熱的目的是將清洗劑加熱以增加清洗機(jī)的洗滌效果。溫度自動(dòng)控制,可在適當(dāng)范圍內(nèi)隨意調(diào)整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不銹鋼經(jīng)弧焊焊制而成,槽體上設(shè)置有排渣檢修口、保溫隔聲層等,要保證水位至少應(yīng)高出換能器盒200 mm以上。
貼合式兆聲清洗頭的特點(diǎn)
兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn),兆聲清洗價(jià)格,而且克服了它的不足。在清洗時(shí),由換能器發(fā)出波長(zhǎng)為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng),遼寧兆聲清洗,大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此,形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時(shí)起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
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