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什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
1.壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮；
2.釬焊：一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/cm2，釬料常用In、Sn、In-Sn；我司采用銦焊綁定技術(shù)。
3.導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05um。
由表面層和基層組成的半導(dǎo)電輥；該表面層具有較高的電阻值，由橡膠組合物制成；基層具有較低的電阻值，純銀零部件誰家好，由導(dǎo)電橡膠組合物組成。該半導(dǎo)電輥的目的在于通過良好地平衡表面層和基層的電阻值而獲得良好的靜電充電特性。有必要使這兩種層的厚度高度準(zhǔn)確。為使兩種層的厚度高度準(zhǔn)確，需要較麻煩的管理，并且生產(chǎn)橡膠輥的成本較高。
燒結(jié)法： ITO靶材燒結(jié)制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧錫混合粉末為原料，加入粘結(jié)劑和分散劑混合后，壓力成型，脫脂，然后于1400℃---1600℃燒結(jié)。燒結(jié)法設(shè)備投入少，重慶純銀零部件，成本低，產(chǎn)品密度高、缺氧率低，尺寸大、但制造過程中對粉末的選擇性很強(qiáng)。
ITO靶制備的透明導(dǎo)電薄膜廣泛應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)、投影電視、數(shù)碼顯示的各種光學(xué)系統(tǒng)中，需求量都很大。
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第8年
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