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擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸汽流(油或等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為:① 自凈化擴(kuò)散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵② 分餾式擴(kuò)散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。

真空泵組閥片可以有效地減少多余功耗的投入,增加和效率下降閥片,經(jīng)常是下部緊貼在真空泵機(jī)組端面圓盤上,上部擺開(kāi)一個(gè)角度,被扭曲成“S”形,經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的使用會(huì)出現(xiàn)設(shè)備老化的情況。此時(shí)設(shè)備的工作狀態(tài)出現(xiàn)問(wèn)題,閥片中間應(yīng)力過(guò)于集中,加快了其他部件的疲勞和破壞程度,減少了設(shè)備使用壽命,導(dǎo)致閥片從中間部分出現(xiàn)斷裂情況,影響正常使用。

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。

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