半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合,可分為電子級(jí),LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí),VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。
近幾年來,智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng),電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解,我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展:國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局,高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束,高純已成功打開。
電子氣體主要包括:、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級(jí)等.
其中六氟化硫、電子級(jí)、、磷烷使用較多。
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1、與混合組成潘寧氣體,充填在熒光燈中,可降低燈的啟動(dòng)電壓;
2、充于冷陰極放電管中,可獲得橙紅色的發(fā)光,用作指示燈;
3、在微波激發(fā)下,發(fā)射單色的真空紫外譜線(74.4nm和73.6nm)
氙:
1、充入HID氙燈中,在啟動(dòng)后立即獲得全部光輸出的80%,放電時(shí)發(fā)射白光,色溫5500K;
2、可制成鹵素混合氣體填充鹵素?zé)簦?/p>
3、在微波激發(fā)下,甲烷,發(fā)射單色的真空此外譜線(14.7nm)
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1、與混合,充填在熒光燈中,可提高光效,但啟動(dòng)困難;
2、可制成鹵素混合氣體填充鹵素?zé)簦?/p>
3、85同位素氣體可填充入金屬鹵化物燈,甲烷批發(fā),幫助啟動(dòng);
4、在微波激發(fā)下,甲烷廠家,發(fā)射單色的真空紫外譜線(123.6nm和116.5nm)
氙氣廠家 高純氙氣 采用空氣分離設(shè)備變壓吸附制氮,以的碳分子篩(CMS)為吸附劑,采用常溫下變壓吸附原理(PSA)分離空氣制取高純度的氮?dú)狻?/p>
氧、氮兩種氣體在分子篩表面上的擴(kuò)散速率不同,直徑較小的氣體分子(O2)擴(kuò)散速率較快,較多的進(jìn)入碳分子篩微孔,直徑較大的分子N2擴(kuò)散速率較慢,進(jìn)入碳分子篩微孔較少。利用碳分子篩對(duì)氮和氧的這種選擇吸附性差異,當(dāng)壓縮空氣通過碳分子篩吸附塔時(shí),氧在吸附相富集,高純甲烷,氮在氣體相富集,可使氧氮分離,在PSA條件下連續(xù)制取氮?dú)狻?/p>
制氮機(jī)是以空氣為原料,以碳分子篩為吸附劑,運(yùn)用變壓吸附原理,使充滿微孔的碳分子篩對(duì)氣體分子有選擇性的吸附來獲得純度為98~99.99%的氮?dú)狻?/p>
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