超聲波清洗
清洗介質(zhì):采用超聲波清洗,一般有兩類清洗劑即化學(xué)溶劑和水基清洗劑。清洗介質(zhì)的化學(xué)作用可以加速超聲波清洗效果,超聲波清洗是物理作用,兩種作用相結(jié)合,依對(duì)物件進(jìn)行充分、的清洗。功率密度:超聲波的功率密度越高,空化效果越強(qiáng),速度越快,清洗效果越好,但對(duì)于精密的表面光潔度甚高的物件,采用長(zhǎng)時(shí)間的高功率密度清洗會(huì)對(duì)物件表面產(chǎn)生空化、腐蝕。超聲頻率:適用于工件粗、臟、初洗,頻率高則超聲波方向性強(qiáng),適合于精細(xì)的物件清洗。清洗高溫:一般來(lái)說,超聲波在30℃~40℃時(shí)的空化效果,清洗劑也不是溫度越高,吉林貼合式兆聲清洗頭,作用越顯著,有可能會(huì)高溫失效,通常超聲波在超過85°C時(shí),清洗效果已變差。所以實(shí)際應(yīng)用超聲波清洗時(shí),采用50°C~70°C的工作溫度。
噴淋式兆聲噴頭產(chǎn)品概述
兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。 Siansonic(東方金榮)噴淋式兆聲清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗,相比傳統(tǒng)槽式清洗,可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應(yīng),不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷超高清洗精度,可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),無(wú)雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)。
超聲波清洗歷史發(fā)展
技術(shù)早出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代早期,貼合式兆聲清洗頭報(bào)價(jià),當(dāng)時(shí),位于美國(guó)新澤西州的美國(guó)無(wú)線電公司的一個(gè)實(shí)驗(yàn)室中的技術(shù)人員嘗試用自制的簡(jiǎn)陋超聲波清洗系統(tǒng)清洗某些物體,貼合式兆聲清洗頭價(jià)格,但試驗(yàn)未獲成功。在此基礎(chǔ)上,超聲波清洗技術(shù)在20世紀(jì)50年代有了很大的發(fā)展,當(dāng)時(shí)使用的超聲波工作頻率在20~ 40 kHz之間。該范圍內(nèi)的超聲波被應(yīng)用在數(shù)千種不同的工作場(chǎng)合下,其中許多是別的清洗手段不能很好發(fā)揮作用的場(chǎng)合。超聲波可以對(duì)工件施加非常巨大的能量,尤其適用于清除牢固地附著在基底上的污垢。然而在某些情況下,超聲波強(qiáng)大的能量也會(huì)損傷粘有污垢而性質(zhì)脆弱的基底材料。在過去的十幾年中,超聲波領(lǐng)域中出現(xiàn)了一些技術(shù)革新,提高了清除敏感基底上的污物的安全系數(shù)。在此期間,超聲波技術(shù),特別是中高頻超聲波清洗技術(shù)有了新的發(fā)展,并成為行業(yè)的亮點(diǎn)。近年來(lái),人們發(fā)現(xiàn)用兆聲波(根據(jù)超聲波的頻率不同,把40 kHz及其以下的稱為常規(guī)或低頻超聲波,貼合式兆聲清洗頭公司,把1 000 kHz以上的稱為高頻超聲波,又稱兆頻超聲波,簡(jiǎn)稱兆聲波)清洗可以去除掉半導(dǎo)體材料表面上的超細(xì)污垢微粒,并且不會(huì)損傷基底材料的表面。目前這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)得到了很快的普及。
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