貼合式兆聲清洗
頭貼近被清洗物,清洗效率更大程度減少清洗液使用量清洗精度高,晶圓清洗哪家好,可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面石英或藍寶石耦合技術(shù),無雜質(zhì)脫落風險腐性,可耐各種酸堿溶液及。
兆聲清洗利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量推動基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清除更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。
超聲波清洗發(fā)展
近年來還出現(xiàn)了超聲波清洗的一種特殊應(yīng)用-超聲波除垢。超聲波除垢主要是利用超聲波強聲場處理流體,晶圓清洗報價,使流體中成垢物質(zhì)在超聲場的作用下的物理形態(tài)和化學性能發(fā)生一系列變化,使之分散、粉碎、松散、松脫而不易附著管、器壁形成積垢。作為超聲清洗的特殊應(yīng)用,晶圓清洗多少錢,超聲防垢廣泛應(yīng)用在鍋爐、熱交換裝置和管道防垢、除垢領(lǐng)域。
噴淋式兆聲噴頭產(chǎn)品概述
兆聲清洗是利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量去進行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于CMP化學機械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。 Siansonic(東方金榮)噴淋式兆聲清洗噴頭的特點及優(yōu)勢單點噴淋式兆聲清洗,山東晶圓清洗,相比傳統(tǒng)槽式清洗,可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應(yīng),不會對器件表面造成損傷超高清洗精度,可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及石英或藍寶石匹配層技術(shù),無雜質(zhì)脫落到器件上的風險的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,實現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動。
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