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吉林智能流量控制器-曉韜科技公司-智能流量控制器報價

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氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇?

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體,智能流量控制器多少錢, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體,吉林智能流量控制器, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明,智能流量控制器哪家好, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道,其中很小一部門進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫,里面的溫度高于進入的氣流溫度,此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等,這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應用場合包括微電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

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