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氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場合包括微電子工藝設(shè)備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1，氣體質(zhì)量控制器多少錢，氣體必須潔凈且沒有顆粒物， 沒有液體， 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。
2，氣體質(zhì)量控制器，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準， 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng)， 用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效，還容易產(chǎn)生危險。
氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體，氣體質(zhì)量控制器哪家好， 但是要注意， 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因為選型或選擇密封材料錯誤， 造成嚴重損失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價格較高， 通常要求不高的場合， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。
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第6年
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