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EMMI可廣泛應用于偵測各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管,可藉由EMMI定位,找熱點(Hot Spot 或找亮點)位置,進而得知缺陷原因,幫助后續(xù)進一步的失效分析。

紅外光顯微鏡在生物學中的應用范圍是有限的。當用可見光觀察不透明的某些物體時,在較溉的紅外光區(qū)域就會變得透明,這種效應已經(jīng)被用于研究在某些昆蟲中發(fā)現(xiàn)的滲入黑色素的甲殼質(zhì)層。但是,某些有機物質(zhì)在2-30微米波長范圍內(nèi)的吸收特性實際上并沒有應用到生物學物質(zhì)的定性和定量的顯微研究中,化學開封機價格,除了儀器和像的記錄問題而外,開封機,也由于在這種波長范圍內(nèi)分辨力的損失已經(jīng)變得十分引人注目。一個數(shù)值孔徑為0.6物鏡的小分辨距離大約與所使用的光線的波長是相等的,等離子開封機,這就意味著使用一個這樣孔徑的反射物鏡,以波長為10μm的紅外光觀察一個直徑為10μm左右的細胞幾乎是不可能的。

偵測到亮點之情況;

會產(chǎn)生亮點的缺陷:1.漏電結;2.解除毛刺;3.熱電子效應;4閂鎖效應; 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現(xiàn)亮點之故障:1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯(lián)短路;4.表面 反型層;5.硅導電通路等。

點被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用Backside模式,但是只能探測近紅外波段的發(fā)光,且需要減薄及 拋光處理。

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