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螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）。ulvac真空泵維修

真空常見故障、產生原因

1 .油量不足.油臟或乳化.泵油牌號不符或混油，夏季使用黏度過小的油 .漏氣.配合間隙過大( 或有磨損和劃痕) .油路不通，泵腔內沒有保持適當的油量

2.泵運轉中溫升太高，使泵油濃度變稀，密封性變差，油蒸氣壓增大 .泵中隔板壓入時過盈量過大，使泵腔鼓起變形，漏氣.排氣閥片損壞密封不好 .裝配不當，端蓋板螺釘松緊不一，轉子軸心位移 .旋片活動不好 .被抽氣體溫度過高。ulvac真空泵維修

3 .進氣管內的過濾網被堵 .氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞或沒擰緊 加油到油標中心換油檢查軸封、排氣閥、端蓋、進氣口等部位的密封情況，并修換密封圈檢查泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，清除雜物、雜質，按精度要求修磨調節(jié)油路的進油量， 清洗時用高壓空氣吹通油孔，把沉積物清洗干凈通冷卻水降溫， 檢查配合間隙按精度要求進行修理修整泵腔或換泵、報廢修換閥片重新裝配修磨轉子和旋片的配合，調換彈簧熱氣體被抽入泵之前加冷卻裝置取出進氣口過濾網清洗干凈烘干后再裝好換墊圈，擰緊氣鎮(zhèn)閥電動機超負荷運轉，甚至轉不動，ULVAC愛發(fā)科分子泵維修服務， 發(fā)生“ 卡死”現象 。

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旋片真空泵的清洗

為了清潔旋片真空泵而沒有明顯的故障，泵一般不拆卸，只有舊油和污垢從排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）從帶漏斗的進氣口。手動緩慢旋轉泵輪數次后，釋放油。通過重復相同的方法一次或兩次，新油可以正式使用。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵氣體輸送能力強大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。沒有必要清潔新的旋片真空泵，但有必要檢查管道入口是否干凈，沒有異物，并擦去表面膩子。

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機械安裝

⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。

⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩(wěn)，振動小。

⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。）

⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。

⑸按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。

⑹真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）

⑺對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。

⑻如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。

⑼當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

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真空泵油是:一種專門為真空設備上的真空泵而研制的潤滑油，分礦物油和合成油兩種。如吸入化學氣體及溶劑，對泵油污染影響真空后，則必須作清洗換油處理。真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。

工業(yè)上有各種各樣的真空泵，對于各種泵的性能都有規(guī)定的測試方法來檢驗，主要參數有：

1、極限真空(通常稱為真空度)：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進行長時間連續(xù)抽氣，當容器內的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，愛發(fā)科真空泵維修，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。

普通真空表測得的真空值(即：表壓)為相對真空度，用負數表示，是指被測氣體壓力與大氣壓的差值。復合分子泵廠家

2、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，愛發(fā)科真空泵維修，單位時間內流過的氣體體積。

傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機油，介質氣體內會含有大量油霧。

分子泵產生振動的原因與減振措施

泵工作時振動的產生及其減振措施保證分子泵工作精度的Z主要問題是盡量減少泵工作時的振動。組成分子泵的零部件以及安放它的基礎，都可以認為是一個彈性系統(tǒng)。當分子泵高速運轉工作時，泵在其平衡位置作往復性機械運動，即是分子泵的振動。

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