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貼合式兆聲清洗頭的特點(diǎn)
兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了它的不足。在清洗時(shí)，晶圓清洗公司，由換能器發(fā)出波長(zhǎng)為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面，安徽晶圓清洗，使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時(shí)起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
貼合式兆聲清洗頭概述
槽式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于其兆聲換能器面積較大，可以大面積輻射兆聲聲場(chǎng)，從而更的進(jìn)行清洗。但缺點(diǎn)是兆聲聲場(chǎng)在水槽中分布不均勻，距離換能器越遠(yuǎn)聲強(qiáng)越弱，同時(shí)聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于可直接將兆聲能量聚焦在清洗物表面，從而可通過(guò)運(yùn)動(dòng)清洗物和噴頭實(shí)現(xiàn)清洗物表面均勻的聲場(chǎng)分布，且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量，對(duì)清洗液浪費(fèi)較大，并且噴淋式兆聲換能器面積較小，晶圓清洗多少錢(qián)，從而聲能輻射面積較小，清洗速度較慢。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)并摒棄了二者缺點(diǎn)的更優(yōu)化的兆聲清洗技術(shù)。它可以以相對(duì)大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，晶圓清洗哪家好，具有非常高的傳遞效率和聲場(chǎng)均勻性，同時(shí)非常節(jié)省清洗液。
超聲波清洗流程
一般來(lái)說(shuō)，清洗的工藝流程依被清洗物體清洗的難易程度及清洗數(shù)量而決定。主要清洗流程如下:1)熱浸洗或噴洗:目的是將工件上的污染物軟化、分離、溶解，并減輕下道清洗工序的負(fù)荷。2)超聲波清洗:利用超聲波產(chǎn)生的強(qiáng)烈空化作用及振動(dòng)將工件表面的污垢剝離脫落，同時(shí)還可將油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流動(dòng)的凈水將已脫落但尚浮在工件表面上污物沖洗干凈。4)超聲波漂洗:溶劑為干凈的清水，工件浸入后，利用超聲波將浮在工件各邊、角及孔隙處的污物清洗干凈。5)熱凈水及冷凈水漂洗:進(jìn)一步去除懸附在工件表面上的污物微粒。6)熱風(fēng)烘干:利用一定的溫度和風(fēng)速，使零件表面快速干燥。
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