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北京東方金榮超聲電器有限公司
主營：超聲波換能器,超聲波振子,超聲換能器,超聲振子
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噴淋式兆聲噴頭產(chǎn)品概述
兆聲清洗是利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，半導(dǎo)體晶圓清洗報價，兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。 Siansonic（東方金榮）噴淋式兆聲清洗噴頭的特點及優(yōu)勢單點噴淋式兆聲清洗，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應(yīng)，不會對器件表面造成損傷超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，實現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動。
超聲波清洗原理
超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 kHz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質(zhì)，其傳播時，使彈性介質(zhì)中的粒子振蕩，并通過介質(zhì)按超聲波的傳播方向傳遞能量，這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內(nèi)，兩者都可以傳送，而在氣體和液體內(nèi)，只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質(zhì)點振動，質(zhì)點振動的加速度與超聲頻率的平方成正比。因此，幾十千赫茲的超聲會產(chǎn)生極大的作用力，強(qiáng)超聲波在液體中傳播時，由于非線性作用，會產(chǎn)生聲空化。在空化氣泡突然閉合時發(fā)出的沖擊波可在其周圍產(chǎn)生上千個大氣壓力，對污層的直接反復(fù)沖擊，一方面破壞污物與清洗件表面的吸附，半導(dǎo)體晶圓清洗，另一方面也會引起污物層的破壞而脫離清洗件表面并使它們分散到清洗液中。氣泡的振動也能對固體表面進(jìn)行擦洗。氣泡還能“鉆入”裂縫中做振動，使污物脫落。對于有油脂性污物，由于超聲空化作用，兩種液體在界面迅速分散而乳化，半導(dǎo)體晶圓清洗價格，當(dāng)固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時，油被乳化，固體粒子即脫落?？栈瘹馀菰谡駝舆^程中會使液體本身產(chǎn)生環(huán)流，即所謂聲流。他可使振動氣泡表面存在很高的速度梯度和粘滯應(yīng)力，促使清洗件表面污物的破壞和脫落，超聲空化在固體和液體表面上所產(chǎn)生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層，腐蝕固體表面，增加攪拌作用，加速可溶性污物的溶解，半導(dǎo)體晶圓清洗哪家好，強(qiáng)化化學(xué)清洗劑的清洗作用。此外，超聲振動在清洗液中引起質(zhì)點很大的振動速度和加速度，亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊。
超聲波清洗新發(fā)展
隨著應(yīng)用范圍的擴(kuò)大，超聲波清洗技術(shù)也有了新的發(fā)展。傳統(tǒng)的超聲波清洗設(shè)備由于自動化程度不高而難以保證零件清洗的均勻性，近年來逐漸出現(xiàn)了自動化程度高、靈活性強(qiáng)的自動化超聲波清洗設(shè)備。不但實現(xiàn)了超聲波清洗的自動化控制和批量作業(yè)，還穩(wěn)定了清洗工藝、提高了清洗質(zhì)量。這類超聲波清洗設(shè)備將超聲波清洗和化學(xué)清洗、漂洗、脫水、烘干等工藝結(jié)合，因而有非常高的清洗效率。在傳動、烘干、清洗方面通常使用PLC控制，實現(xiàn)了清洗過程的全自動化。
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第3年
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