鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,香檳金靶材廠家,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,云南香檳金靶材,使器件的性能大幅度下降。
綁定的適用范圍
技術(shù)上來說表面平整可進行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材:
ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;
錫、銦等軟金屬靶;
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端:
1.熔點低的靶材,像銦、硒等,香檳金靶材哪家好,金屬化的時候可能會變軟變形;
2.貴金屬靶材,一是實際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料,建議墊一片銅片。
電導(dǎo)率σi和電子導(dǎo)電的電導(dǎo)率σe之比σi/σe≥0.01。
具有至少一層其至少部分所述導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電層的導(dǎo)電輥包括整個導(dǎo)電輥都由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成的導(dǎo)電輥以及由不同組成的多層構(gòu)成的導(dǎo)電輥,而由不同組成的多層構(gòu)成的導(dǎo)電輥中的至少一層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成,其他層則由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成。
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