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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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用于電子照相成像裝置和噴墨成像裝置的導(dǎo)電輥是通過將導(dǎo)電性泡沫彈性體包覆于導(dǎo)電性金屬芯材的外周而制成的。所述導(dǎo)電性泡沫彈性體是通過將導(dǎo)電性材料分散在普通彈性體中以使該彈性體具有導(dǎo)電性，并使用空氣或者氮氣對彈性體進行機械發(fā)泡、或者使用發(fā)泡劑進行化學(xué)發(fā)泡而形成的。
導(dǎo)電輥，所述導(dǎo)電輥的電阻率幾乎不會隨著環(huán)境變化而改變。根據(jù)本發(fā)明的一方面，大連純金靶材，提供了一種導(dǎo)電輥，純金靶材誰家好，該導(dǎo)電輥包括導(dǎo)電性芯材，以及包覆于所述導(dǎo)電性芯材的外周的泡沫彈性層。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，能夠滿足！導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問題：銅與有機介質(zhì)材料的附著強度低．并且容易發(fā)生反應(yīng)，純金靶材價格，導(dǎo)致在使用過程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問題，需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺金作為替代材料。
任何金屬都不能達到純?！俺儭本哂邢鄬Φ暮x，是指技術(shù)上達到的標(biāo)準(zhǔn)。
由于技術(shù)的發(fā)展，也常使 “超純”的標(biāo)準(zhǔn)升級。“超純”的相對名詞是指“雜質(zhì)”，廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)（元素）及“物理雜質(zhì)”（晶體缺陷），純金靶材回收，后者是指位錯及空位等，而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。
但只當(dāng)金屬純度達到很高的標(biāo)準(zhǔn)時（如純度9以上的金屬），物理雜質(zhì)的概念才是有意義的，因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn)，即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表示。
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第8年
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