廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫
測試過程
試驗(yàn)期間,渦輪泵以滿轉(zhuǎn)速持續(xù)運(yùn)行。初始的磁場設(shè)置為 1mT ,泵在該磁場下運(yùn)行 12 個(gè)小時(shí)以穩(wěn)定轉(zhuǎn)子溫度;然后關(guān)閉磁場,再運(yùn)行 12 個(gè)小時(shí)以使轉(zhuǎn)子降溫;然后再分別把磁場設(shè)置為 2mT,按照前面的步驟繼續(xù)進(jìn)行測試,直至磁場增加到 7mT 。
測試結(jié)果
當(dāng)磁場逐步增加后,被測分子泵轉(zhuǎn)子的平衡溫度也隨之上升,當(dāng)磁場強(qiáng)度為 7mT 時(shí),平衡溫度上升到 100 攝氏度左右(安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度)。
另外,KIT 使用該測試平臺(tái)測試了另一臺(tái)其它品牌的分子泵,一系列的對(duì)比測試表明,安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉(zhuǎn)子的平衡溫度明顯較低( 5mT 時(shí),安捷倫分子泵變頻器,低大約40度)。
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TwisTorr 404 FS 渦輪分子泵TwisTorr 404 FS 配備 DN100 法蘭,可提供 400 L/s 的抽速,對(duì)輕質(zhì)氣體可實(shí)現(xiàn)高壓縮比,還配備已注冊(cè)商標(biāo)的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS),確保低振動(dòng)和低噪音,適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 404 FS 的高壓縮比、高前級(jí)耐壓能力和免維護(hù)運(yùn)行使其成為一種可靠、、低成本的分子泵。
404 FS 是 UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析、電子顯微鏡和低溫應(yīng)用的選擇。該泵的智能控制器可根據(jù)系統(tǒng)需要自動(dòng)優(yōu)化泵的性能。
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Agilent 1260 Infinity 脫氣機(jī) G4225A 型號(hào),東沙群島安捷倫,由四個(gè)單獨(dú)的真空腔以及半滲透性管、真空泵和控制組件組成。打開真空脫氣機(jī)的電源開關(guān)后,控制組件就會(huì)開啟真空泵,真空泵可使真空腔內(nèi)產(chǎn)生低壓。其壓力由壓力傳感器測定。通過控制空氣入口過濾器漏率和使用壓力傳感器調(diào)節(jié)真空泵,真空脫氣機(jī)可以保持低壓狀態(tài)。
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安捷倫真空:提供適合電子顯微鏡的全套真空產(chǎn)品安捷倫真空對(duì)電子顯微鏡之類的聚束系統(tǒng)真空應(yīng)用有著非常豐富的經(jīng)驗(yàn),為了滿足SEM、TEM系統(tǒng)高真空、低電磁噪聲和低振動(dòng)的要求,開發(fā)了一系列的產(chǎn)品。
安捷倫其他常見應(yīng)用:
1.分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等)
2.半導(dǎo)體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)
3.光學(xué)/玻璃(熱保護(hù),安捷倫分子泵抽速,增透、反射、光學(xué)濾光膜)
4.鍍膜(表面保護(hù),裝飾涂料,顯示器,安捷倫Turbo-V401,屏幕)
5.真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金、)
6.泄漏檢測(真空系統(tǒng)、車輛的油箱,安全氣囊
7.研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)成像、核粒子物理,核聚變研究,激光應(yīng)用和許多更多)
8.燈生產(chǎn)行業(yè)及相關(guān)
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性能指標(biāo)H2 壓縮比1.5 x 106前級(jí)管道法蘭尺寸KF 16 NW前級(jí)耐壓 — N212 mbar啟動(dòng)時(shí)間< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建議采用的前級(jí)泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s氣體通量 — N2、水冷250 sccm極限真空<1 x 10-10 mbar標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證EN 61010-1
EN 61326-1
EN 1012-2
EN 12100
EN 50581
機(jī)械指令 2006/42/EC
電磁兼容性指令 2014/30/
EU 指令 2011/65/EU法蘭類型DN 100DN 160貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運(yùn)行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量5.84 kg額定轉(zhuǎn)速60 KRPM
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為了確認(rèn)磁場對(duì)分子泵工作的影響,德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)設(shè)計(jì)并執(zhí)行了下面的測試:
測試條件和裝置
被測分子泵的型號(hào)為 TwisTorr304 FS CFF6,使用一對(duì)亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場。
被測分子泵由一臺(tái)渦旋干泵作為前級(jí),分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下(該壓力以下,熱對(duì)流幾乎為零,分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷卻水對(duì)分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻;分子泵的控制器會(huì)自動(dòng)調(diào)整電機(jī)電流,保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計(jì)測量被測試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。
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