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泵效是分子泵的重要基本參數(shù)，提高傳動(dòng)比是提升泵效更加馬上的方法之一，隨著著動(dòng)平衡設(shè)備***性的發(fā)展趨向，分子泵發(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)子可順利地在快速轉(zhuǎn)動(dòng)下穩(wěn)定運(yùn)作。隨著著管理學(xué)的發(fā)展趨向，分子泵發(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)子原料也發(fā)生了變化，可用硬鋁型材、碳纖維、合金材料等高耐磨原料制成，這使發(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)子的傳動(dòng)比得到進(jìn)一步提高。

為了減少分子泵整機(jī)工作時(shí)的振動(dòng)，在泵的設(shè)計(jì)制造中應(yīng)采取以下措施：

1、在工藝條件允許的情況下，盡可能提高零部件的加工精度。

2、對(duì)電動(dòng)機(jī)主軸及渦輪轉(zhuǎn)子等旋轉(zhuǎn)零部件進(jìn)行嚴(yán)格的動(dòng)平衡試驗(yàn)。

3、為了防止產(chǎn)生共振，確保泵安全運(yùn)轉(zhuǎn)，泵設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)使主軸的工作轉(zhuǎn)速 n 在其各階臨界轉(zhuǎn)速之外。在軸的初步設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)對(duì)其臨界轉(zhuǎn)速進(jìn)行驗(yàn)算，至少使其與工作轉(zhuǎn)速相差 20 %左右，否則應(yīng)改變軸的尺寸或剛性來(lái)達(dá)到上述要求。

4、對(duì)主軸軸承的外側(cè)設(shè)置橡膠減振環(huán)。橡膠減振環(huán)除了具有減振、隔音效果外，還有利于越過(guò)共振區(qū)，衰減高頻振動(dòng)和噪音的作用。

5、為減少分子泵的振動(dòng)向外傳遞以及減少外界振動(dòng)對(duì)分子泵的影響，在分子泵的四個(gè)支柱下裝有四個(gè)橡膠墊以起到隔振作用。

裝配時(shí)泵內(nèi)一定要保持干燥、清潔。將各機(jī)座的油泵放在*下面， 然后依次重疊的直立裝配。各機(jī)座高真空室的旋片應(yīng)沿螺旋線順序相距一齒。預(yù)真空室轉(zhuǎn)子的旋片應(yīng)相距兩齒， 兩個(gè)預(yù)真空室的轉(zhuǎn)子端頭孔應(yīng)相對(duì)著不要掉頭。零部件的互相接觸部分應(yīng)涂以干凈的真空泵油以加強(qiáng)潤(rùn)滑。

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噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵，適于在粘滯留和過(guò)渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種：① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵

復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在 l0 級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

在復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)中，必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，ULVAC干式真空泵維修服務(wù)中心，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過(guò)渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。

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真空泵維修注意事項(xiàng)額定勵(lì)磁電流，可以通過(guò)快速調(diào)試自動(dòng)計(jì)算，在**中顯示，但是一般這個(gè)內(nèi)部計(jì)算的參數(shù)并不準(zhǔn)確，實(shí)測(cè)的要更接近電機(jī)的真實(shí)數(shù)據(jù)。具體怎么確定，比較羅索，還是自己仔細(xì)的解讀說(shuō)明說(shuō)的相關(guān)論述?？傊?，準(zhǔn)確地確定電機(jī)數(shù)據(jù)，比較麻煩的就是矢量控制以及磁化電流的測(cè)取。在滿足同樣風(fēng)量Q2的情況下，風(fēng)壓H3大幅度降低，功率N3(相當(dāng)于面積CH3OQ2)隨著顯著減少，節(jié)能效果十分顯著。愛(ài)發(fā)科真空泵維修與保養(yǎng)

從上面的分析還可以看出，調(diào)節(jié)閥門控制風(fēng)量，隨著風(fēng)量的減少，風(fēng)壓反而增加；而采用變頻調(diào)速器調(diào)速來(lái)控制風(fēng)量，隨著風(fēng)量的減少，風(fēng)壓大幅度下降。風(fēng)壓下降太多，有可能滿足不了工藝要求。即如果工況點(diǎn)在曲線(1)、曲線(2)、H軸所圍區(qū)域內(nèi)部，單純地依靠變頻調(diào)速器調(diào)速將無(wú)法滿足工藝要求，需要和閥門調(diào)節(jié)結(jié)合才能滿足工藝要求。某廠引進(jìn)的變頻調(diào)速器，在離心風(fēng)機(jī)中的應(yīng)用中，因沒(méi)有設(shè)計(jì)閥門，單純地依靠變頻調(diào)速器調(diào)速來(lái)改變風(fēng)機(jī)工況點(diǎn)，吃盡了苦頭。要么轉(zhuǎn)速太高，風(fēng)量太大；若降低轉(zhuǎn)速，風(fēng)壓又滿足不了工藝要求，吹不進(jìn)風(fēng)

真空泵的類型主要由作業(yè)所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。真空泵作業(yè)時(shí)，需求注意以下兩個(gè)方面：盡可能需求在區(qū)內(nèi)，也即是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)。依據(jù)以上準(zhǔn)則，當(dāng)真空泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選擇。

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