使用方法該設(shè)備操作簡(jiǎn)單,易于上手,具體操作如下:
一、曝光前準(zhǔn)備工作
1、硅片處理:確保待曝光硅片經(jīng)過(guò)勻膠處理,SU8模具加工設(shè)備設(shè)計(jì),表面干凈平整,沒(méi)有明顯的污漬或破損。
2、選擇光刻板:根據(jù)項(xiàng)目需要,SU8模具加工設(shè)備作用,選擇合適尺寸的光刻板,云南SU8模具加工設(shè)備,本設(shè)備兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、設(shè)備檢查:仔細(xì)檢查設(shè)備,確保所有部件處于正常工作狀態(tài),確保操作環(huán)境良好。
頂旭(蘇州)微控技術(shù)有限公司是一家專(zhuān)注于微流控領(lǐng)域的高科技企業(yè),我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。
生物芯片如何安裝曝光操作步驟
1、安裝硅片:將待曝光硅片平放在設(shè)備的載臺(tái)上,確保位置準(zhǔn)確。
2、放置光刻板:將光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平穩(wěn)。
3、設(shè)定曝光參數(shù):使用控制面板設(shè)置曝光時(shí)間和強(qiáng)度,根據(jù)具體需求進(jìn)行調(diào)整。
4、啟動(dòng)曝光:確認(rèn)參數(shù)設(shè)定無(wú)誤后,點(diǎn)擊啟動(dòng)按鈕,設(shè)備將開(kāi)始進(jìn)行曝光。
5、監(jiān)控曝光過(guò)程:在曝光過(guò)程中,您可以通過(guò)設(shè)備界面監(jiān)控曝光進(jìn)度,確保一切順利進(jìn)行。
6、曝光完成:曝光結(jié)束后,設(shè)備會(huì)發(fā)出提示,取出硅片和光刻板。
頂旭桌面微型光刻機(jī),專(zhuān)為微米級(jí)圖案制作而設(shè)計(jì),旨在保障卓yue的圖形轉(zhuǎn)移精度。設(shè)備采用紫外LED冷光源,結(jié)合雙非球面石英透鏡,可生成半角<2°的平行光,SU8模具加工設(shè)備優(yōu)點(diǎn),相較傳統(tǒng)接觸式曝光機(jī),其極zhi緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,為操作提供了便利與精zhun。
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