銀蒸發(fā)鍍靶材回收-大連銀蒸發(fā)鍍靶材-沈陽(yáng)東創(chuàng)【全心全意】

詢盤留言 |投訴|申領(lǐng)|刪除 產(chǎn)品編號(hào)：587349856 更新時(shí)間：2024-11-13

沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司

主營(yíng)業(yè)務(wù)：貴金屬材料
公司官網(wǎng)：www.dcgjs.cn
公司地址：沈陽(yáng)市沈河區(qū)文化東路89號(hào)

業(yè)務(wù)熱線： 13898123309 (趙總先生)

產(chǎn)品詳情
聯(lián)系方式

供貨總量 : 不限
價(jià)格說(shuō)明 : 議定
包裝說(shuō)明 : 不限
物流說(shuō)明 : 貨運(yùn)及物流
交貨說(shuō)明 : 按訂單

濺射靶材ITO靶材的生產(chǎn)工藝 ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種：熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結(jié)法。各種生產(chǎn)工藝及其特點(diǎn)簡(jiǎn)介如下：

熱等靜壓法：ITO靶材的熱等靜壓制作過(guò)程是將粉末或預(yù)先成形的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結(jié)。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機(jī)械性能好，銀蒸發(fā)鍍靶材價(jià)格，但設(shè)備投入高，生產(chǎn)成本高，產(chǎn)品的缺氧率高。

熱壓法：ITO靶材的熱壓制作過(guò)程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后，以 100kgf/cm 2～1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓，同時(shí)以1000℃～1600℃進(jìn)行燒結(jié)。熱壓工藝制作過(guò)程所需的成型壓力較小，燒結(jié)溫度較低，燒結(jié)時(shí)間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ITO靶材由于缺氧率高，大連銀蒸發(fā)鍍靶材，氧含量分布不均勻，從而影響了生產(chǎn)ITO薄膜的均勻性，且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。

背靶的選擇

對(duì)材質(zhì)的要求：一般選用無(wú)氧銅和鉬靶，厚度在3mm左右

導(dǎo)電性好：常用無(wú)氧銅，無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；

強(qiáng)度足夠：太薄，易變形，銀蒸發(fā)鍍靶材回收，不易真空密封。

結(jié)構(gòu)要求：空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu)；

厚度適中：3mm左右，太厚，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。

銦焊綁定的流程

1.綁定前的靶材和背板表面預(yù)處理

2.將靶材和背板放置在釬焊臺(tái)上，升溫到綁定溫度

3.做靶材和背板金屬化

4.粘接靶材和背板

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