工業(yè)氣體在使用上需要注意哪些事項

在使用一氧i化碳氣體檢測儀的時候要注意事項：

1、檢查氣體流量、通常為30/h，流量過大或者過小對分析儀結(jié)果影響較大

2、更換濾紙：停抽氣泵，過濾罐排水

3、檢查氣路系統(tǒng)中有無漏氣現(xiàn)象。抽泣泵膜片有無破損，取樣探頭密封圈是否破i裂，四通閥、冷凝汽是否損壞等

4、取樣探頭清洗，取樣孔管路疏通

5、檢查冷凝器工作是否正常，通常溫度調(diào)整在3攝氏度范圍內(nèi)

6、檢查測量器室看是否臟污，及時清洗。

1、氣瓶安全附件完好齊全（包括橡皮圈、安全帽、壓力表、阻火器、減壓閥、易熔塞） ， 膠皮軟管必須完好無老化破損情況，與氣瓶接口處應用卡子固定，以防滑脫。 2、氧氣、乙i炔不能混合存放（二者應隔開或隔離放置，隔開距離 2 米以上） ，使用時距離 5 米以上，氣瓶不可放置在距明火、高溫部位較近的地方（距離 15 米以上） ，放置場所應陰 涼通風，并有防傾倒措施。 3、工業(yè)氣瓶在搬運過程中，嚴禁在地上滾動，應用手旋轉(zhuǎn)平移。裝車時，氣體管道安裝哪家好，氣瓶應該方向一 致，捆扎牢固。運輸必須用?；囕v。氧氣、乙i炔嚴禁混裝運輸。 4、在上部有動火和高溫天氣使用氣瓶時，應用不燃物體遮蓋，高溫天氣不能在陽光下長時 間曝曬，氣瓶使用完畢后，須拆下減壓閥、膠皮軟管等設施，并戴上安全帽，然后按第 2 條要求放置。 5、乙i炔氣瓶在使用時嚴禁平放在地上。 6、氧氣瓶在儲存使用過程中嚴禁接觸油脂。 7、切割、焊接作業(yè)前，應清理周圍易i燃物，以防引燃。 8、動火作業(yè)現(xiàn)場應設專人監(jiān)護，并配置相應的消防滅火設施，如滅火器、水等。 9、存放（或存放過）易i燃易i爆危險品的容器、管線設備不能直接進行動火作業(yè)，應進行相 應處理或采用其他安全措施，確認安全后再進行動火作業(yè)。 10、在具有一定危險性的場所動火作業(yè)，用火單位應使用“用火許可證” ，在落實安全措施 后經(jīng)負責人審批再進行施工。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，氣體管道安裝價格，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇，氣體管道安裝生產(chǎn)商，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

配管的準備工作

(1)無論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，新疆氣體管道安裝，下料時均不得采用氧、乙i炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。

(2)管子切口應當與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應在安裝前清洗，清洗前先應研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應當重新試壓。

(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經(jīng)閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設計要求。

(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應當將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門、附件等，應當嚴格禁油，并在安裝前按有關要求嚴格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:

1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

2)銅管。在半導體企業(yè)中，個別生產(chǎn)工藝如GaAs的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。