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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線，香檳金靶材哪家好，例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng)，與介質(zhì)層的粘結(jié)性差，易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會(huì)形成金屬與Si 的化合物，貴州香檳金靶材， 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色，使器件的性能大幅度下降。
眾所周知，靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān)，隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進(jìn)，靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。如Ic制造商．近段時(shí)間致力于低電阻率銅布線的開發(fā)，預(yù)計(jì)未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜，這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外，近年來平面顯示器（FPD）大幅度取代原以陰極射線管（CRT）為主的電腦顯示器及電視機(jī)市場．亦將大幅增加ITO靶材的技術(shù)與市場需求。此外在存儲(chǔ)技術(shù)方面。高密度、大容量硬盤，高密度的可擦寫光盤的需求持續(xù)增加．這些均導(dǎo)致應(yīng)用產(chǎn)業(yè)對靶材的需求發(fā)生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域，以及這些領(lǐng)域靶材發(fā)展的趨勢。
電源供應(yīng)裝置通過一升降機(jī)構(gòu)安裝在機(jī)座上并與控制裝置電連接；所述整體測量機(jī)構(gòu)包括一安裝在機(jī)座上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、一連接在驅(qū)動(dòng)電機(jī)上的傳動(dòng)軸及一安裝在傳動(dòng)軸的一端的接地端；所述擇點(diǎn)測量機(jī)構(gòu)包括一安裝在機(jī)座上的第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)、一對安裝在所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)上的第二傳動(dòng)軸、一安裝在機(jī)座上并與所述第二傳動(dòng)軸平行的滑軌及若干安裝在滑軌上的測點(diǎn)探針。
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第8年
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