半導(dǎo)電膠輥通常用在復(fù)印機(jī)、電子傳真裝置等辦公設(shè)備中。半導(dǎo)電膠輥屬于半導(dǎo)電元件,銀粒哪家好,且電阻值受環(huán)境影響較大,對產(chǎn)品的導(dǎo)電性要求極其嚴(yán)格,因?yàn)榇蛴〉娜^程是碳粉通過電場的壓力來實(shí)施,所以輕微的電性誤差將導(dǎo)致在打印過程中文字和圖片深淺不一的現(xiàn)象。因此需精密的量測,故要求有一套高精密的量測系統(tǒng)來支持,方能達(dá)到產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求。
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但是靶材制作困難,這是因?yàn)檠趸煵蝗菀谉Y(jié)在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結(jié)添加劑,能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材,這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關(guān)系極大。日本的科學(xué)家采用Bizo作為添加劑,Bi2O3在820Cr熔化,在l500℃的燒結(jié)溫度超出部分已經(jīng)揮發(fā),這樣能夠在液相燒結(jié)條件下得到比較純的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是納米顆粒,這樣可以簡化前期的工序。
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