定片式真空泵:在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。余擺線式真空泵:在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子,它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。多室旋片式真空泵:在一個泵殼內并聯(lián)裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
旋片式真空泵:轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近,在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個可變容積?;y式真空泵:在偏心轉子外部裝有一個滑閥,轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而泵腔分成兩個可變容積。
吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。(1)蒸發(fā)離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵:泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為:粗真空、高真空、超高真空三大類。
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