真空泵特點(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;(4)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作,使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會與油發(fā)生化學反應,腐蝕泵內(nèi)零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕,所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分,以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
真空泵按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應用多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。
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