羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。動量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。
水環(huán)泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優(yōu)點結構簡單,制造精度要求不高,容易加工。結構緊湊,泵的轉數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡單,維修方便。
旋轉真空泵又有如下幾種形式:① 油封式真空泵:它是利用油類密封各運動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。干式螺桿真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變容真空泵。③液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼內形成泵殼同心的環(huán)液,環(huán)液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。
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