擴散噴射泵:它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下,輸送到出口的一種動量傳輸泵。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作,使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng),腐蝕泵內(nèi)零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕,所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分,以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點。所以,它適用于作擴散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機等。
羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫氂星凹壉门浜戏娇墒褂迷谳^寬的壓力范圍內(nèi),有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的主泵,需要用前級泵輔助。如:水環(huán)式真空泵,滑閥真空泵,立式無油真空泵,分子真空泵等。國內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
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